By visiting this site, you accept the use of cookies. More about our cookie policy.

GOST 26239.5-84

GOST R ISO 15353-2014 GOST P 55080-2012 GOST R ISO 16962-2012 GOST R ISO 10153-2011 GOST R ISO 10280-2010 GOST R ISO 4940-2010 GOST R ISO 4943-2010 GOST R ISO 14284-2009 GOST R ISO 9686-2009 GOST R ISO 13899-2-2009 GOST 18895-97 GOST 12361-2002 GOST 12359-99 GOST 12358-2002 GOST 12351-2003 GOST 12345-2001 GOST 12344-88 GOST 12350-78 GOST 12354-81 GOST 12346-78 GOST 12353-78 GOST 12348-78 GOST 12363-79 GOST 12360-82 GOST 17051-82 GOST 12349-83 GOST 12357-84 GOST 12365-84 GOST 12364-84 STATE STANDARD P 51576-2000 GOST 29117-91 GOST 12347-77 GOST 12355-78 GOST 12362-79 GOST 12352-81 GOST P 50424-92 STATE STANDARD P 51056-97 GOST P 51927-2002 GOST P 51928-2002 GOST 12356-81 GOST R ISO 13898-1-2006 GOST R ISO 13898-3-2007 GOST R ISO 13898-4-2007 GOST R ISO 13898-2-2006 STATE STANDARD P 52521-2006 GOST P 52519-2006 GOST R 52520-2006 GOST P 52518-2006 GOST 1429.14-2004 GOST 24903-81 GOST 22662-77 GOST 6012-2011 GOST 25283-93 GOST 18318-94 GOST 29006-91 GOST 16412.4-91 GOST 16412.7-91 GOST 25280-90 GOST 2171-90 GOST 23401-90 GOST 30642-99 GOST 25698-98 GOST 30550-98 GOST 18898-89 GOST 26849-86 GOST 26876-86 GOST 26239.5-84 GOST 26239.7-84 GOST 26239.3-84 GOST 25599.4-83 GOST 12226-80 GOST 23402-78 GOST 1429.9-77 GOST 1429.3-77 GOST 1429.5-77 GOST 19014.3-73 GOST 19014.1-73 GOST 17235-71 GOST 16412.5-91 GOST 29012-91 GOST 26528-98 GOST 18897-98 GOST 26529-85 GOST 26614-85 GOST 26239.2-84 GOST 26239.0-84 GOST 26239.8-84 GOST 25947-83 GOST 25599.3-83 GOST 22864-83 GOST 25599.1-83 GOST 25849-83 GOST 25281-82 GOST 22397-77 GOST 1429.11-77 GOST 1429.1-77 GOST 1429.13-77 GOST 1429.7-77 GOST 1429.0-77 GOST 20018-74 GOST 18317-94 STATE STANDARD P 52950-2008 GOST P 52951-2008 GOST 32597-2013 GOST P 56307-2014 GOST 33731-2016 GOST 3845-2017 STATE STANDARD P ISO 17640-2016 GOST 33368-2015 GOST 10692-2015 GOST P 55934-2013 GOST P 55435-2013 STATE STANDARD P 54907-2012 GOST 3845-75 GOST 11706-78 GOST 12501-67 GOST 8695-75 GOST 17410-78 GOST 19040-81 GOST 27450-87 GOST 28800-90 GOST 3728-78 GOST 30432-96 GOST 8694-75 GOST R ISO 10543-99 GOST R ISO 10124-99 GOST R ISO 10332-99 GOST 10692-80 GOST R ISO 17637-2014 GOST P 56143-2014 GOST R ISO 16918-1-2013 GOST R ISO 14250-2013 GOST P 55724-2013 GOST R ISO 22826-2012 GOST P 55143-2012 GOST P 55142-2012 GOST R ISO 17642-2-2012 GOST R ISO 17641-2-2012 GOST P 54566-2011 GOST 26877-2008 GOST R ISO 17641-1-2011 GOST R ISO 9016-2011 GOST R ISO 17642-1-2011 STATE STANDARD P 54790-2011 GOST P 54569-2011 GOST P 54570-2011 STATE STANDARD P 54153-2010 GOST R ISO 5178-2010 GOST R ISO 15792-2-2010 GOST R ISO 15792-3-2010 GOST P 53845-2010 GOST R ISO 4967-2009 GOST 6032-89 GOST 6032-2003 GOST 7566-94 GOST 27809-95 GOST 22974.9-96 GOST 22974.8-96 GOST 22974.7-96 GOST 22974.6-96 GOST 22974.5-96 GOST 22974.4-96 GOST 22974.3-96 GOST 22974.2-96 GOST 22974.1-96 GOST 22974.13-96 GOST 22974.12-96 GOST 22974.11-96 GOST 22974.10-96 GOST 22974.0-96 GOST 21639.9-93 GOST 21639.8-93 GOST 21639.7-93 GOST 21639.6-93 GOST 21639.5-93 GOST 21639.4-93 GOST 21639.3-93 GOST 21639.2-93 GOST 21639.0-93 GOST 12502-67 GOST 11878-66 GOST 1763-68 GOST 13585-68 GOST 16971-71 GOST 21639.10-76 GOST 2604.1-77 GOST 11930.7-79 GOST 23870-79 GOST 11930.12-79 GOST 24167-80 GOST 25536-82 GOST 22536.2-87 GOST 22536.11-87 GOST 22536.6-88 GOST 22536.10-88 GOST 17745-90 GOST 26877-91 GOST 8233-56 GOST 1778-70 GOST 10243-75 GOST 20487-75 GOST 12503-75 GOST 21548-76 GOST 21639.11-76 GOST 2604.8-77 GOST 23055-78 GOST 23046-78 GOST 11930.11-79 GOST 11930.1-79 GOST 11930.10-79 GOST 24715-81 GOST 5639-82 GOST 25225-82 GOST 2604.11-85 GOST 2604.4-87 GOST 22536.5-87 GOST 22536.7-88 GOST 6130-71 GOST 23240-78 GOST 3242-79 GOST 11930.3-79 GOST 11930.5-79 GOST 11930.9-79 GOST 11930.2-79 GOST 11930.0-79 GOST 23904-79 GOST 11930.6-79 GOST 7565-81 GOST 7122-81 GOST 2604.3-83 GOST 2604.5-84 GOST 26389-84 GOST 2604.7-84 GOST 28830-90 GOST 21639.1-90 GOST 5640-68 GOST 5657-69 GOST 20485-75 GOST 21549-76 GOST 21547-76 GOST 2604.6-77 GOST 22838-77 GOST 2604.10-77 GOST 11930.4-79 GOST 11930.8-79 GOST 2604.9-83 GOST 26388-84 GOST 14782-86 GOST 2604.2-86 GOST 21639.12-87 GOST 22536.8-87 GOST 22536.0-87 GOST 22536.3-88 GOST 22536.12-88 GOST 22536.9-88 GOST 22536.14-88 GOST 22536.4-88 GOST 22974.14-90 GOST 23338-91 GOST 2604.13-82 GOST 2604.14-82 GOST 22536.1-88 GOST 28277-89 GOST 16773-2003 GOST 7512-82 GOST 6996-66 GOST 12635-67 GOST 12637-67 GOST 12636-67 GOST 24648-90

GOST 26239.5−84 semiconductor Silicon and quartz. Method for the determination of impurities (with Change No. 1)


GOST 26239.5−84

Group B59


STATE STANDARD OF THE USSR

THE SEMICONDUCTOR SILICON AND QUARTZ

Method for the determination of impurities

Semiconductor silicon and quartz. Method of impurities determination


AXTU 1709

Valid from 01.01.86
to 01.01.91*
________________________________
* Expiration removed
Protocol N 7−95 Interstate Council
for standardization, Metrology and certification
(IUS N 11, 1995). — Note the manufacturer’s database.



DEVELOPED by the Ministry of nonferrous metallurgy of the USSR

PERFORMERS

Y. A. Karpov, M. N. Schulepnikov, M. K. Vinnikov, G. G., Gavin, N. Gradskova, O. V. Zavialov, T. I. Zyablova, V. E., Quinn, V. A. Krylov, A. I. Kuzovlev, N. And. Marunya, V. G., Miscreants, V. M. Mikhailov, M. G. Nazarova, V. A. Orlov, A. I. Stepanov, N. With. Sysoeva, V. I. Firsov, G. I. Alexandrova

INTRODUCED by the Ministry of nonferrous metallurgy of the USSR

Member Of The Board Of A. P. Snurnikov

APPROVED AND put INTO EFFECT by Decision of the USSR State Committee on standards dated July 13, 1984 N 2490

The Change N 1, approved and in effect as of 01.01.91 by the resolution of Gosstandart of the USSR from 26.06.90 N 1847

Change No. 1 made by the manufacturer of the database in the text ICS N 10, 1990


This standard specifies neutron activation method for the determination of impurities into the undoped semiconductor silicon and quartz are within the ranges of values of mass fraction of impurities:

   
tungsten

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

gallium

from 2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

europium

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

iron

from 2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

gold

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

India

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

cobalt

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

Lantana

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

Lutetia

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

copper

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

molybdenum

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

arsenic

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

sodium

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

Nickel

from 2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

scandium

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

silver

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

antimony

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

tantalum

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

chrome

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%

zinc

from 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)to 1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%


The method is not applicable for the analysis of silicon grades, KES-0.01 and CAM-0,01.

(Changed edition, Rev. N 1).

1. GENERAL REQUIREMENTS

1.1. General requirements for method of analysis according to GOST 26239.0−84.

2. APPARATUS, MATERIALS AND REAGENTS


Nuclear reactor with a flux of neutrons 0,5−1·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)neutron/(cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)·s) and a cadmium ratio for gold in the channel for irradiation of samples is equal to 2−5.

Gamma-ray spectrometer consisting of a multichannel analyzer (the number of channels of the analyzer not less than 2000), the block signal amplification, semiconductor germanium or germanium-lithium detector with photoaffinity γ-ray line ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)With energy 1332 Kev of at least 1.5% (in the corner ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)). The ratio peak/Compton for ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)not less than 30:1. The resolution of the spectrometer is not more than 3 Kev in line ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)With with the energy of 1332 Kev.

Box protective type 1Б11−1НЖ.

Container lead transport stamps CR-10,0 wall thickness of 100 mm.

Container lead table brand KT-10 with a wall thickness of 10 mm.

Personal protective equipment against radiation and contamination by radioactive substances, according to the Basic sanitary rules OSP 72/87*.
_______________
* On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Act SP 2.6.1.799−99. — Note the manufacturer’s database.

The aluminum canisters are made of aluminum brand 995-A.

Radiometer Tiss.

Set an exemplary standard gamma emitters (OSGI).

Filters obestochennye «blue ribbon».

Aluminum foil stamps 995-A thickness of 0.05−0.1 mm, GOST 618−73.

Volumetric flasks with a capacity of 50, 100, 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1).

Measuring cylinders with a capacity of 10 and 25 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1).

Micropipettes 0.1 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)(first class).

The PTFE beakers with a capacity of 150 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1).

Glasses chemical glass with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1).

Drying oven with temperatures up to 150 °C.

Oven muffle of the type MP-2УМ.

Liquid nitrogen according to GOST 9293−74.

The mortar and pestle of agate or Jasper.

Tile electric.

Laboratory scales according to GOST 24104−88*.
_______________
* On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Valid GOST R 53228−2008. — Note the manufacturer’s database.

Libra microanalytical type VLM-1.

Lamp infrared radiation type of ikz-220−500.

Acetone according to GOST 2603−79.

Distilled water GOST 6709−72.

Hydrochloric acid of high purity according to GOST 14261−77.

Nitric acid of high purity according to GOST 11125−78*.
______________
* On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Standards 11125−84. — Note the manufacturer’s database.


Hydrofluoric acid according to GOST 10484−78.

Sulfuric acid of high purity according to GOST 14262−78.

Sodium hydroxide according to GOST 4328−77.

The sodium sulfate Piro GOST 18344−78*.
______________
* On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Act THAT 6−09−5404−88** (IUS N 3, 1989);
** The document is the author’s development. For additional information, please refer to the link. — Note the manufacturer’s database.

Ammonium vinocity according to GOST 4951−79*.
______________
* On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Act THAT 6−09−08−2007−89** (IUS N 12, 1989);
** The document is the author’s development. For additional information, please refer to the link. — Note the manufacturer’s database.

The technical rectified ethyl alcohol GOST 18300−87.


Ammonium molybdate according to GOST 3765−78, H. h

Gallium metal according to GOST 12797−77.

Radio engineering carbonyl iron according to GOST 13610−79, mark PS.

Europium oxide with a purity of 99.9%.

Gold GOST 6835−80*.
______________
* On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Standards 6835−2002. — Note the manufacturer’s database.


Indium metal according to GOST 10297−75*.
______________
* On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Standards 10297−94. — Note the manufacturer’s database.


Potassium dichromate according to GOST 4220−75, H. h, dried to constant weight at 140 °C.

Cobalt metal according to GOST 123−78*, grades K-1.
______________
*On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Valid GOST 123−2008. — Note the manufacturer’s database.


Semiconductor silicon, grade KP-1−6.

Lanthanum oxide with a purity of 99.9%.

Lutetium oxide with purity of 99.9%.

Copper powdered metal according to GOST 859−78*, mark M3.
______________
* On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Valid GOST 859−2001. — Note the manufacturer’s database.


Arsenic is a metal purity of 99.9%.

Sodium volframovich 2-water according to GOST 18289−78, H. h

Sodium chloride according to GOST 4233−77, H. h, dried to constant weight.

Nickel oxide black GOST 4331−78, CH.

Silver nitrate according to GOST 1277−75, H. h, dried to constant weight at 140 °C.

Scandium oxide with purity of 99.9%.

Antimony metal according to GOST 1089−82, brand Cy-0000.

Tantalum pentoxide with purity of 99.9%.

Zinc metal according to GOST 3640−79*.
______________
* On the territory of the Russian Federation the document is not valid. Valid GOST 3640−94. — Note the manufacturer’s database.


Standard sodium solution containing 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)sodium or 0.0254 g of sodium chloride, dried to constant weight, is placed in a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), and dissolved in distilled water, adjusted to the mark, mix.

A standard silver solution containing 0.002 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)silver: 0,00315 g of silver nitrate is placed in a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and dissolved with distilled water, bring to a label, mix.

A standard solution of molybdenum and chromium containing 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of molybdenum and 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)chrome: 0,0184 g of ammonium molybdate and 0,0283 g of potassium dichromate was placed in a volumetric flask with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), dissolved in distilled water, adjusted to the mark, mix.

Stock solution of copper and zinc containing 0.1 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)copper and 0.5 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)zinc: 0,1000 g of copper and 0,5000 g of zinc is placed in a beaker with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and dissolved by heating in 50 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of a mixture of hydrochloric and nitric acids (1:5), after dissolution of the copper and zinc solution was cooled and transferred into a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix. From the main solution taken 10 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and transferred to a volumetric flask with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix. This solution, containing 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)copper, and 0.05 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)zinc, used as a standard solution.

A standard solution of tungsten containing 0.005 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)tungsten: 0,00897 volframovich g of sodium dissolved in distilled water in a volumetric flask with a capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix.

Stock solution of tantalum containing 0.5 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)tantalum: 0610 g of tantalum pentoxide is fused in a muffle furnace with 2 g peacemaking of sodium at 900 °C until a clear melt. The fusion is dissolved by boiling in 40 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of a 10% solution Vinokurova ammonium solution was cooled, transferred to a volumetric flask with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix.

Standard tantalum solution prepared on the day of use. From the main solution are taken 2 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), transferred to a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and was adjusted to the mark with 8%-s ' solution of ammonium Vinokurova, mix. Standard tantalum solution contains 0.001 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of tantalum.

Standard iron solution containing 10 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)iron: 1,000 g of iron is placed in a beaker with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), add 30 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of concentrated hydrochloric acid and 1.5 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of nitric acid and heated until complete dissolution of the sample, after cooling, the solution is transferred to a volumetric flask with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix.

Standard solution of cobalt, containing 0.002 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)cobalt: 0,00200 grams of cobalt was placed in a beaker with a capacity of 50 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and dissolved in a minimum volume of nitric acid, the solution transferred to a volumetric flask with a capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix.

Standard solution of arsenic containing 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)arsenic: 0,0100 g of arsenic is placed in a beaker with a capacity of 50 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and dissolved by heating in 5 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of sulphuric acid, after dissolution of the arsenic solution was boiled down to about 1 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), cooled and transferred into a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix.

Stock solution of europium, lutetium and lanthanum, containing 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)europium, 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Lutetia and 0.05 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of lanthanum: 0,0116 g of europium oxide, 0,0114 g of an oxide of lutetium and 0,0596 g of lanthanum oxide placed in a beaker with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), add 20 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of concentrated hydrochloric acid, diluted with distilled water in the ratio 1:1, dissolved by heating, cooled, transferred into a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix. From the main solution taken 2.0 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and transferred into a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix.

This solution containing from 0.0002 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)europium, from 0.0002 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Lutetia and 0.001 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of lanthanum, used as a standard solution.

Stock solution of scandium containing 0.1 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)scandium: 0,1500 g of scandium oxide was placed in a beaker with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adding 25 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of concentrated hydrochloric acid, diluted with distilled water in the ratio 1:1, dissolved by heating, after cooling, the solution is transferred to a volumetric flask with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted to the mark with distilled water, mix. This solution, containing 0.001 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)scandium is used as a standard solution.

Stock solution of antimony containing 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of antimony: 0,0100 g of antimony dissolved in 5 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of Aqua Regia (1 part nitric acid and 3 parts hydrochloric acid) when heated, after removal of the nitrogen oxides, the solution is transferred into a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), 6M dilute hydrochloric acid to the mark, mix. From the main solution taken 10 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and transferred to a volumetric flask with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted to the mark 6M solution of hydrochloric acid, mix. This solution, containing 0.001 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of antimony, used as a standard solution.

Stock solution of gold, containing 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)gold: 0,0100 g of gold was dissolved in 5 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of Aqua Regia by heating, after removal of the nitrogen oxides, the solution is transferred into a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix. From the main solution taken 2.0 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and transferred to a volumetric flask with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix. This solution containing from 0.0002 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of gold used as standard solution of gold.

A standard solution of Nickel containing 0.5 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of Nickel: 0,0704 g of an oxide of Nickel placed in a beaker with a capacity of 50 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and dissolved in 10 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of dilute nitric acid, the solution transferred to a volumetric flask with a capacity of 100 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix.

India standard solution containing 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)India: 0,0100 g of indium is placed in a beaker with a capacity of 50 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and was dissolved with heating in a minimum volume of Aqua Regia (1 part nitric acid and 3 parts hydrochloric acid), after cooling, the solution is transferred into a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted with distilled water to the mark, mix.

A standard solution of gallium, containing 0.01 mg/cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)gallium: 0,0100 g of gallium is dissolved in a minimum volume of Aqua Regia (1 part nitric acid and 3 parts hydrochloric acid) in a beaker with a capacity of 50 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)when heated, after cooling, the solution is transferred into a measuring flask with volume capacity of 1000 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), adjusted to the mark with 1% solution of hydrochloric acid, mix.

(Changed edition, Rev. N 1).

3. PREPARATION FOR ASSAY

3.1. Preparation of samples analysed samples and comparison to irradiation

Pencil case for radiation and aluminum foil for wrapping samples and comparison samples are washed with acetone, then alcohol.

From each test portion is taken for two sample 2−3 mm thick, weighing 4−6 grams, put each portion into an aluminum package, the package label.

The total mass of analyzed samples is in the pencil box should not exceed 30 g.

From each standard solution was taken at 0.1 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and nakatyvaet on separate strips of filter paper of «blue ribbon» size 1x3 cm, dried under an infrared lamp, then the strip is folded in three layers to a size of 1x1 cm and wrapped in aluminum foil, labeled. In a container for irradiation is placed simultaneously with the samples for two sample comparisons for each defined element. Each reference sample contains: tungsten 0.0005 mg, 0.001 mg of gallium, europium 0,00002 mg, iron 1.0 mg, gold 0,00002 mg, 0.001 mg India, cobalt 0.002 mg, 0.0001 mg lanthanum, lutetium 0,00002 mg copper 0.001 mg, 0.001 mg molybdenum, arsenic 0.001 mg, 0.005 mg sodium, Nickel 0.5 mg, 0.0001 mg scandium, silver of 0.0002 mg 0.0001 mg antimony, tantalum 0.0001 mg, 0.001 mg of chromium, zinc of 0.005 mg.

In each case for the radiation is placed one strip of filter paper is prepared and packaged as described above, but without dripped on it standard solutions.

Pencil case with the analyzed samples and comparison samples are irradiated in a nuclear reactor during:

100 h if the expected mass fraction of impurities to be determined, is less than 10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)% by weight;

10 h if the expected mass fraction of impurities, which must be determined is more than 10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)% by weight.

Irradiated samples are transported to the laboratory in a lead transport container TC-10,0.

(Changed edition, Rev. N 1).

4. ANALYSIS

4.1. Processing the analyzed samples and comparison samples after irradiation

Pencil case with irradiated analyte samples and comparison samples are placed in a protective box type 1Б11−1НЖ. 25−30 h after irradiation of the analyzed samples free from aluminum packets and placed in Teflon beakers and thrice etched in a freshly prepared mixture of nitric and hydrofluoric acids (5:1). Each etching 20−40 with no heat. After acid etching, the sample is treated with 10% alkali solution for 40−80 s. After each etching, the samples are washed with water, and after alkaline etching is dried under an infrared lamp, weighed on an analytical balance, Packed in aluminum foil, labeled.

Samples of comparison and a strip of filter paper without dripped on it standard solutions recovered from aluminum packets and placed in non-irradiated aluminum packages.

The analyzed samples and the comparison samples placed in different security containers of the type CT.

4.2. Preparation of a gamma-ray spectrometer to the measurement of activity and measurement of the activity of the analyzed samples and the samples of comparison

The measurement of the activity of the analyzed samples and the samples of the comparison is preceded by the calibration of the spectrometer energy by using the set OSGI. During calibration select this amplification of signals, in which channel 1 of the analyzer had to 0.7−1.0 Kev.

Before measuring activity of samples measured within 30−40 min the natural background level of the detector. If in the spectrum there are gamma lines of the radionuclides that can be identified as artificially radioactive substances, take measures to decrease the background to the natural background level of the detector, caused by naturally-radioactive elements in the materials surrounding the detector (wall, defense, etc.).

When measuring the activity of samples and sample comparisons download of the spectrometer should not lead to distortion of the shape of the amplitude distribution of more than 10%.

If you want to reduce the load of the spectrometer from the bremsstrahlung radiation caused by the radionuclides that are formed from silicon and from low-energy gamma rays of the radionuclides impurity elements, applying the filter radiation — a layer of aluminium of 3 mm and a iron layer with a thickness of 3−4 mm.

If you want to reduce the load of the spectrometer only from low-energy radiation of radionuclides impurity elements, applying the filter radiation — a layer of aluminium of 2 mm and a layer of lead of 2−3 mm.

In an analytical use of gamma lines of the radionuclides given in table.1.

Table 1

     
Define the element (radionuclide) The half-life of the radionuclide
Energy analytical gamma line Kev*

Tungsten (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)W)

23,9 h 686

Gallium (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Ga)

14,1 h 834

Europium (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Eu)

9,3 h 841

Iron (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Fe)

44.6 day 1099

Gold (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Au)

2.7 days 412

Indium (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)In)

49.5 day 192

Cobalt (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Co)

Of 5.26 years 1332

Lanthanum (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)La)

40,2 h 1596

Lutetium (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Lu)

6.7 day 208

Copper (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Cu)

12,8 h 511

Molybdenum (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Mo)

66,0 h 140

Arsenic (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)As)

26,3 h 559

Sodium (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Na)

15,0 h 1368

Nickel (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)With)

71.3 per day 811

Silver (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Ag)

253 day 657

Scandium (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Sc)

84,0 day 889

Antimony (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Sb)

2.71 day 564

Tantalum (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)TA)

115 days 1189

Chromium (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Cr)

27.7 day 320

Zinc (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Zn)

14,0 h 439

______________
* Conversion factor 1 Kev=1,602·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)erg


The time of measurement of the activity of the analyzed samples depends on the content of determined elements and is 1−6 h. the Time of measuring the activity of samples comparisons and strips of filter paper, which is not dripped a standard solution that is 1−3 min. exposure Time of a sample depends on the mass fraction and the ratio of trace elements in the analyzed samples. For the samples with the mass fraction of vysokozastyvayuschih impurity elements (sodium, scandium, cobalt, copper, gallium, arsenic, bromine, antimony, rare earth elements, hafnium, tantalum, tungsten, rhenium, iridium, and gold) not more than (1−3)·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, tungsten, gallium, europium, lanthanum, copper, arsenic, sodium, and zinc determined by the exposure time equal to 20−30 h, and other elements — when the exposure time of 60−100 h. If the mass fraction listed above vysokozastyvayuschih elements less (1−3)·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%allowed the simultaneous determination of all elements after aging for 25−30 h

Spectra of samples decode the energies of most intense gamma-lines of radionuclides detectable elements with the use of the spectrometer at the energy and position of the analytical gamma lines in the spectra of samples comparison.

4.1, 4.2. (Changed edition, Rev. N 1).

5. PROCESSING OF THE RESULTS

5.1. The mass fraction of detectable elements (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)) in percent is calculated by the formula

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1),


where ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)is the number of pulses in the analytical peak of the radionuclide of the element in the spectrum of a test sample, imp;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)is the number of pulses in the analytical peak in the spectrum of the samples of comparison 1 and 2, respectively, of imp;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — the measurement of the spectrum of the analyzed sample and the comparison samples 1 and 2, respectively, min;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — weight of sample, mg;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — the content of the element in the reference sample, mg;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)is the correction factor due to difference in the geometrical dimensions of sample and sample comparison; is set experimentally for each detector (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)1);

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — the half-life of the radionuclide;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — the period of time between the measurement of the spectrum of reference sample 1 and reference sample 2 and the middle of-time measurement of the spectrum of the analyzed sample.

Correction for the decay of radionuclides can be factored into ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), where ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)is ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)or ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), i.e. as a rule when calculating the mass fraction of scandium, chromium, cobalt, iron, silver, lutetium, indium, tantalum and antimony. In this case

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1).


The correction factor ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)that takes into account different shapes of analyzed samples and comparison samples, determined experimentally. Irradiate a portion of the silicon (quartz) according to mass and shape similar to the analyzed samples. This linkage should contain the impurity elements, which produce radionuclides with energies of gamma-lines in the region of 0.1−0.2 MeV, 0.4 to 0.5 MeV, and 1−1. 3 MeV. Such elements can be, for example, tungsten and tantalum, hafnium, and cobalt, etc. these elements can be introduced as additives (mass fraction 10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)-10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%) in the silicon or quartz, crushed to a powder in an agate mortar under a layer of alcohol, or can be used in silicon, alloy of these elements. After irradiation the measured specific intensity of the respective gamma lines (pulse/min·mg) for the whole sample ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)and of the sample (1x1 cm mass 100−200 mg) ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1). The ratio ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)gives the value of the correction factor ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)for the energy of the corresponding gamma lines. Values ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)for intermediate values of the analytical gamma lines, find using linear interpolation.

In determining the copper line annihilating radiation ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of Cu (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)511 Kev) necessary to consider the possibility of the contribution of gamma-ray lines of ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)W (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)511,6 Kev) and lines annihilating radiation from radionuclides ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Na, ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Ga, and ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Zn. With this purpose, measure the activity of the test sample and establish the presence in the spectrum of radionuclides of tungsten, gallium, sodium and zinc. If any of these elements present in the analyzed sample, the samples of comparison data items to measure not only the intensity of the analytical gamma lines, but the intensity of the lines with an energy of 511 Kev, for tungsten 511,6 Kev.

When calculating the mass fraction of copper in the analyzed sample of silicon the number of pulses in the analytical peak of ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Cu (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)) is determined by the formula

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1),


where ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)is the number of pulses in gamma-ray line with an energy of 511 Kev and 511,6, due to radiation is ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Cu radiation and radionuclides of the elements, interference, pulse;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — number of pulses in an analytical gamma line of the radionuclide element, interference in the spectrum of a test sample, imp (ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Na — 1368 Kev, ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Zn 1115 Kev, ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Ga — 834 Kev ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)W — 686 Kev);

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — the count rate in the gamma lines 511 Kev (tungsten 511,6 Kev) in the spectrum of the reference sample pulse/min;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — the rate of pulses in an analytical gamma line of the radionuclide element, interference in the spectrum of the reference sample, pulse/min;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — the number of radionuclides-interference taken into consideration.

In determining India on gamma-ray lines ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)In ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Kev 192 the contribution of gamma-ray lines of ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)Fe into account similarly to that described above for copper.

The presence of detectable elements (most often sodium, copper, and scandium) in the strips of filter paper, which nakatyvaet the standard solutions, take into account according to the formula

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1),


where ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)is the speed pulse counting analytical gamma line of the radionuclide of the element, due to the content of this element, dripped from the reference sample, pulse/min;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1) — count rate analytical gamma line of the radionuclide of the element obtained in the measurement of the reference sample, pulse/min;

ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)the count rate of the gamma line of the radionuclide of the element due to the presence of this element in filter paper, pulse/min.

For each of the designated impurities in the result of the analysis take the average of the two results of parallel measurements conducted by each of the individual sample in PP.3.1; 4.1; 4.2; 5.1.

5.2. The difference between the larger and the smaller of the two results of the parallel definitions should not exceed the allowable absolute values of the differences for a confidence probability ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of 0.90 as shown in table.2.

5.3. To check the correctness of the results of analysis of the prepared artificial mixtures (N 1−4) based on semiconductor silicon, powdered in an agate mortar to a powder, which is administered defined elements of the introduction of the previously prigotovleny standard solutions (sect.2). Powdered silica pre-check neutron-activation method on the content of all determined elements. Mass fraction of detectable elements in a powdery silicon should be not more than 20% of the content of the items introduced in Supplement form from solutions.

The mass fraction of each of the additives shall be not less than three times the value of the lower boundary of the designated contents of elements according to the method and not more than the upper boundary of the designated contents of elements.

Table 2

     
The designated element The mass fraction of the element, % The absolute allowable difference, %
Iron, Nickel

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,30·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

2,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

Molybdenum, chromium, zinc, lutetium

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,30·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

5,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

2,2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

5,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

2,2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,5·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

Indium

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,30·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,40·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,50·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

Tungsten, europium, lanthanum, arsenic

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,25·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,50·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

Gallium

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,30·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

2,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

Copper

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,30·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,50·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

Sodium

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,25·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,50·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

Silver

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,30·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,50·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

Gold, scandium

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,30·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,50·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

Cobalt, antimony, tantalum

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,23·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,30·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

 

1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

0,50·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)



Powdered silicon was placed in an agate mortar, impose solutions determined elements, then under a layer of alcohol triturated with a mixture of 2.5−3 h and the mixture is dried under an infrared lamp to constant weight.

A mixture of 1: to 10.0 g of powdered silicon are added in a 0.1 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)solutions containing sodium, lanthanum, europium, lutetium and scandium. Mass fraction of sodium in the resulting mixture is 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, Lantana 1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, europium 2,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, lutetium 2,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, scandium 1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%.

A mixture of 2: to 10.0 g of powdered silicon is added to 0.05 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)solutions containing silver and chromium, 0.1 cm inГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)solutions containing antimony and molybdenum. Mass fraction of silver in the resulting mixture is 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, chromium of 5.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, antimony of 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)% molybdenum 5,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%.

A mixture of 3: to 10.0 g of powdered silicon is added to 0.05 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)solutions containing cobalt and tantalum, 0.02 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of a solution containing iron, and 0.1 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)solutions containing arsenic and gallium. Mass fraction of cobalt in the mixture is 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, tantalum 5,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, iron of 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, arsenic of 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%
and gallium 1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%.

A mixture of 4: 10.0 g of powdered silicon is added 0.05 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of a solution containing copper and zinc, 0.1 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of a solution containing gold, 0,02 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of a solution containing Nickel, and 0.1 cmГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)of a solution containing indium. Mass fraction of copper in the resulting mixture is 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, zinc 5,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, gold 2,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, tungsten 5,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%, Nickel of 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)% India, 5.0, and·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)%.

From each of the prepared mixtures selected three sample 2.0 g and analyzed PP.3.1−4.3 and sec. 5.

The time of exposure of batches of artificial formulas when defining the elements given in table.3.

Table 3

     
Room mix
The designated element The time of exposure, h
1
Sodium, europium 30−70
  Lantan 50−80
  Lutetium, scandium More than 100
2
Molybdenum, antimony 30−70
  Silver, chrome More than 100
3
Gallium, arsenic 30−40
  Cobalt, iron, tantalum More than 100
4
Tungsten, copper, zinc 30−40
  Indium, Nickel More than 100
  Gold 80−120



For each user-defined impurities get the result of the analysis (minus the mass fraction of element into a powdered silicon prior to the introduction of additives) as the arithmetic average of the three results of parallel measurements carried out from each sample 2.0 g of the Analysis is considered correct if found at the same value of mass fraction of impurity (%) within: tungsten 5,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±0,8·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), gallium is 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±0,2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), EU-2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±0,4·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), gold of 2.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±0,4·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), cobalt of 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±0,2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), lutetium 2,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±0,4·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), molybdenum 5,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), sodium of 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±0,2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), scandium 1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±0,2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), antimony of 1.0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±0,2·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1), chrome 5,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)±1,0·10ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1).

Allowable differences for intermediate values of mass fraction find by linear interpolation.

(Changed edition, Rev. N 1).